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公司介绍德国海德堡光罩绘图机玻璃干版.材料全自动制程机/冲片机
 Direct Write Systems
   
upg101 DWL66+
   
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DWL8000 VPG800
DWL 8000
   
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VPG 1600  
   
 Maskless Aligners
   
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DWL8000
DWL8000 档案下载:[pdf / 534 KB]
  大面积瞄写系统 : DWL 8000

搭配海德堡的精密软件控制可以让您在大面积范围中,也可以瞄写 2维和 3维图形新的 DWL 8000 系列,是针对微光学领域的2维和 3维的微构造形式所制作。

对于激光图形生成器、MEMS、displays 和 sensors 都有加宽、加高的设计。DWL 8000 精确的温度控制、动态的焦点追踪、closed loop 位置决定,确保完美布置和完全覆盖性的直写范围。

光映科技 独家代理 德国海德堡仪器。 销售范围:中国大陆地区、台湾地区。

 
 
  DWL8000 多年的经验累积,使 Gray Scale 曝光技术,可以更有效率于更小的系统上直写更大的区域范围。在使用高分辨率技术于掩模板上;使用曝光强度经过调整的激光,可在连续表面上形成ㄧ个复杂的3维样式。
 
 
主要功能: 应用范围:
最小描绘尺寸: 0.7 μm
最小直写尺寸: 20 nm
5 种描绘模式
可转换成自动描绘模式
进阶 3维 绘画方式
量测/ 校直用照相机系统
选择可能的激光來源
可在线上(Online)传送绘画数据
自动基板加载系统
多种多样的绘画数据输入格式
  (DXF,CIF,GDSII,Gerber,STL)
Stage Map 补正
Edge detector unit
Micro-optics
MEMS
Display
Micro sensor

 
关键词: 掩模板 (Photo mask) 铬板 (Chrome mask) 干版 (Emulsion mask)图形发生器 (Pattern generator) 无掩膜光刻 (maskless lithography) 激光光刻 (Laser plotter) 制板