|
德国海德堡 高分辨率玻璃掩模板绘图机 Heidelberg Photo Mask Writing System |
德国海德堡仪器(Heidelberg Instruments),创始于1984 年 ,总部设于德国海德堡。
在激光掩模板与无掩模光刻绘图设备的发展和设计上,一直是世界级的领导品牌。
多年以来,系统设备持续地改良、更适于客户端、且在各种应用上客制化。
最新开发机种称之为大量图型产生器 VPG (Volume Pattern Generator)。
应用范围包括:
微电脑和奈米科技, MEMS, 平面显示器, BGA, ASICS, TFT,
Plasma Displays,
Micro Optics, 和其它相关领域。。 |
|
|
|