ExhibitionContact Us
公司介绍德国海德堡光罩绘图机玻璃干版.材料全自动制程机/冲片机
 Direct Write Systems
   
upg101 DWL66+
   
DWL2000 DWL4000
   
DWL8000 VPG800
   
VPG1600  
VPG 1600  
   
 Maskless Aligners
   
MLA100 MLA150
MLA 100 MLA 150
   
   
 
     
VPG800
VPG1600 档案下载:[pdf / 362KB]
  终极型大尺寸掩膜版生产工具:VPG1600

新型 Volume High Generator (VPG) 大尺寸图形发生器,是海德堡科技在大型光学系统上科技的创新与突破的里程碑。其利用独家专利技术 "宽阔的平行化曝光制程技术 "而开发出来的。

VPG 是目前掩模板大尺寸、大批量生产的可靠而又经济的解决方案,特别适用于诸如:需要大量掩膜板的电子封装产业、彩色滤光片产业,以及其它特别需要大面积,而且高分辨率需求相关产业。另外,VPG 还可以提供优异的影像質量与注记差异(实际掩膜板与资料的差异)。

光映科技 独家代理 德国海德堡仪器。 销售范围:中国大陆地区、台湾地区。
 
 
  VPG 设计有可以搭载多样化不同尺寸的承载平台,例如: 1600mm * 1400mm、1100mm * 1100mm、800mm * 800mm。这些系统都安装有气浮装置,可配置半自动或者全自动的上下版装置,并且可选择最高输出功率 20W 的 UV 激光發射头。
微细化的写入步距,可以确保优越的粗糙度和连接边界。平台位置自动校正技术,可以进行优异的自我校正,以达到精准定位效果。
   
 
关键词: 掩模板 (Photo mask) 铬板 (Chrome mask) 干版 (Emulsion mask)图形发生器 (Pattern generator) 无掩膜光刻 (maskless lithography) 激光光刻 (Laser plotter) 制板