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公司介绍德国海德堡光罩绘图机玻璃干版.材料全自动制程机/冲片机
 Direct Write Systems
   
upg101 DWL66+
   
DWL2000 DWL4000
DWL 4000
   
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VPG1600  
VPG 1600  
   
 Maskless Aligners
   
MLA100 MLA150
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DWL2000
DWL4000 档案下载:[pdf / 1171 KB]
  适合产业界使用的高阶系统 : DWL 4000

掩模板光刻与无掩模直写需求,电子束(E-Beam)、组件装载模型,大幅度提升绘画的速度DWL4000 激光光绘系统对于公司成本效益、高分辨率的要求、掩模板和基板尺寸。

范围可至 400 mm × 400 mm2 等,DWL 4000 是您最佳的解决方案。DWL 4000 系统利用各式应用软件,把复杂的微构造(micro-structures)做最佳的解决。用来制作Gray Level 构造是一大利器。如:MEMS、SAW Devices、ASICS、MCMs、Integrated Optics and Displays。

光映科技 独家代理 德国海德堡仪器。 销售范围:中国大陆地区、台湾地区。

 
 
  DWL 4000 产品线包括两种模式,DWL 4000DD 和 可处理更高效能的 DWL 4000FBM。此系统可适用于客制化的激光设备,几乎任何光阻剂都可曝光。让您的制版作业更加得心应手,激光功率不再是您需要担忧的问题。
 
 
主要功能: 应用范围:
最大基板尺寸: 400 ×400 mm2
最小描绘尺寸: 0.5 μm
最小描绘网格: 5 nm
4 种描绘模式
可转换成自动描绘模式
进阶的 3D 曝光模式
量测/ 校直用照相机系统
选择可能的激光源
可在线上(Online) 传送绘画数据
自动基板加载系统
多种多样的绘画数据输入格式
  (DXF,CIF,GDSII,Gerber,STL)
Stage Map 补正
MEMS
SAW 设备
ASIC
MCM
integrated optics
显示器

 
关键词: 掩模板 (Photo mask) 铬板 (Chrome mask) 干版 (Emulsion mask)图形发生器 (Pattern generator) 无掩膜光刻 (maskless lithography) 激光光刻 (Laser plotter) 制板