德国海德堡 高精密无掩模激光直写设备
HEIDELBERG INSTRUMENTS MASKLESS LASER LITHOGRAPHY SYSTEM
德国海德堡仪器(Heidelberg Instruments)成立于1984年,拥有卓越的技术和可靠的产品,受到全球50多个国家客户的信任,并且成功安装超过1500台系统。
产品范围从桌面式解决方案到高端掩模版制造系统,致力于设计、开发和生产高精度的激光光刻技术、无掩模对准器和纳米制造系统,稳居全球领导者地位,为全球半导体领域提供顶尖品质的服务。我们的系统能够在微纳米级别上实现多种表面结构,包括2D图案化、通过灰度光刻创建2.5D特征尺寸。
基于其高度灵活性,这些解决方案已成为全球知名大学、研发机构及工业生产设备中的重要资产。应用领域包括微光学与光子学、电子学、先进封装、量子器件、MEMS、微流体、2D材料及掩模版制造等技术前沿领域,是企业和研究发展的最佳解决方案。