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日本柯尼卡美能达高解析玻璃底片 Konica Minolta High Precision Photo Plate |
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明室底版 - Daylight Contact CE1 |
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适用范围 (Applications): |
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适用于 Shadow mask 类产品,用一般灯光的光源进行接触式负片玻璃光罩制程。 |
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适用于 365nm 波长紫外光源,包含高压汞灯与卤素灯。 |
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光谱感度 Spectra sensitivity : |
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特色 (Features): |
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忠实呈现母片图形。 |
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优越的显影稳定性,稳定光罩图形。 |
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减少在显影制程阶段所产生的缺点。 |
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制程条件 (Processing conditions): |
制程步骤
(Processing) |
搭配药水
(Chemical used) |
制程温度
(Temp.) |
制程时间
(Time) |
显影
(Development) |
显影液 (Developer)
DE-200
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20℃ |
显影时间3分钟配合不断摇晃槽体
(3 minutes with continuous agitation) |
中止反应
(Stop bath) |
醋酸 (Acetic acid)
(3%) |
18~21℃ |
10~30秒
(10 to 30 seconds) |
定影
(Fix) |
定影液 (Fixer).
CFL-881
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18~21℃ |
显影时间3分钟配合不断摇晃槽体
(3 minutes with continuous agitation) |
水洗
(Wash) |
流动水
(Flowing water) |
18~21℃ |
10分鐘以上
(10 minutes
or more) |
风干
(Drying) |
20 to 50℃ 干燥空气
(Clean air 20 to 50℃) |
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Designated safe light : Please ask for details |
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关键词:
掩模板 (Photo mask) 铬板 (Chrome mask) 干版 (Emulsion mask)图形发生器 (Pattern generator) 无掩膜光刻 (maskless lithography) 激光光刻 (Laser plotter) 制板 |
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