自动冲片制程优点：降低人员操作失误，增加制程稳定度，避免水痕残留造成刮伤或是缺口与光掩模破裂现象发生。

关键词: 掩模板 (Photo mask) 铬板 (Chrome mask) 干版 (Emulsion mask)图形发生器 (Pattern generator) 无掩膜光刻 (maskless lithography) 激光光刻 (Laser plotter) 制板